什么是TONiC？

TONiC是雷尼紹推出的超小型非接觸式增量式光柵系統(tǒng)，速度可達(dá)10 m/s，與Ti接口配套使用時，在線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率達(dá)1 nm。由于安裝公差大，并且只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn)，因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡單。TONiC的動態(tài)信號處理功能可提高信號穩(wěn)定性，而且電子細(xì)分誤差超低，通常小于±30 nm，從而有助于實現(xiàn)卓越的運(yùn)動控制性能。

TONiC UHV將增量式光柵技術(shù)引入低至10^-10 Torr的超高真空應(yīng)用中，這類應(yīng)用要求在緊湊的外形中保持高性能。